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深圳丹邦投资集团有限公司《氧化物薄膜晶体管的制造方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2015年10月21日中国发明专利公报,深圳丹邦投资集团有限公司 《氧化物薄膜晶体管的制造方法》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了氧化物薄膜晶体管的制造方法,所述氧化物薄膜晶体管包括氧化物半导体层、源极和漏极,所述氧化物半导体层包括沟道区域、以及分别处于所述沟道区域两侧的第一接触区域和第二接触区域,所述源极与第一接触区域接触,所述漏极与第二接触区域接触,所述氧化物半导体层采用氧化铟、氧化镓、氧化锌或氧化锡、或者铟、镓、锌、锡的二元或多元氧化物,采用电子束对所述第一接触区域和第二接触区域进行辐射。本发明提高了氧化物薄膜晶体管的场效应迁移率,同时减少或避免了电流拥挤现象;另外有效降低工艺温度,保持基板处于低温状态,因而可以采用柔性基板,并且可以降低工艺难度,降低生产成本。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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