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南亚科技股份有限公司《利用含矽掩模形成溝渠的方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2015年12月3日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司《利用含矽掩模形成溝渠的方法》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种利用含硅掩模形成沟渠的方法,包括:首先,形成一基底,并且一含硅掩模覆盖在所述基底上,然后注入抗蚀刻掺质到含硅掩模,使得含硅掩模变为一抗蚀掩模,接着图案化基底和抗蚀掩模,而形成至少一沟渠,之后再形成一含硅材料层填满沟渠,最后以抗蚀掩模为掩模,蚀刻部分含硅材料层。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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