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清华大学深圳研究生院《一种电喷雾微流体芯片、制作方法及掩膜版设备》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2015年11月25日中国发明专利公报,清华大学深圳研究生院 《一种电喷雾微流体芯片、制作方法及掩膜版设备》由新创友代理成功获得发明专利权。

   一种电喷雾微流体芯片、其制作方法及掩膜版设备,该方法采用透光结构不同的两块掩膜版,通过依次使用两块掩膜版,可在不同的光刻胶深度上形成不同的结构,最终显影得到所需结构,以其作为微流体芯片成型模具,可使微流体芯片的喷雾口在微流体芯片上一体化形成,即微流道出口直接成型为微流体芯片的喷雾口。由于喷雾口可直接从光刻胶形成的模具中脱模成型,而非切割修整所得到,所得微流体芯片能够获得很好的电喷雾效果,有效解决现有的高聚物微流体芯片电喷雾效果差的问题。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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