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南亚科技股份有限公司 《制作凹入式信道存储晶体管装置的方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2016年5月26日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《制作凹入式信道存储晶体管装置的方法》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种制作凹入式信道存储晶体管装置的方法,包括:提供半导体基材,基材上具有凹槽;在凹槽中形成栅极介电层;在凹槽中沉积栅极材料层;在栅极材料层上形成介电盖层;图案化介电盖层和栅极材料层以形成栅极图案;在栅极图案上形成衬垫层;在栅极图案各侧壁的衬垫层上形成间隙壁;蚀刻未被间隙壁覆盖的衬垫层,以形成一内凹底切,其暴露出部分栅极材料层;去除间隙壁;和在内凹底切内将暴露出来的栅极材料层氧化成绝缘体。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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