如何申请专利
您的位置: 首页 > 新闻中心 > 正文

南亚科技股份有限公司《形成密集间距图案的方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2016年7月14日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《形成密集间距图案的方法》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明提供了一种形成密集间距图案的方法。首先提供一目标图案包含多个第一条状图案,第一条状图案具有一第一宽度以及一第一长度。接着提供一光掩膜具有多个第二条状图案对应于第一条状图案,其中第二条状图案具有一第二宽度以及一第二长度。然后在一曝光系统中利用光掩膜进行一第一曝光工艺,第一曝光工艺使用一第一光源,其可以解析出第二条状图案的第二宽度。最后在曝光系统中利用光掩膜进行一第二曝光工艺,第二曝光工艺使用一第二光源,其不能解析出第二条状图案的第二宽度。

   

   新创友,发明专利代理专家,

        电话:0755-88858101 /83671888

        传真:0755-83671968