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南亚科技股份有限公司《半导体盲孔的检测方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2016年8月11日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《半导体盲孔的检测方法》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法,包括提供一包括导电区的半导体基底;形成多个暴露出导电区的盲孔,其特征在于电阻率大于导电区的高电阻层会位在至少一盲孔的部分或全部底部区域,且高电阻层和导电区的接触面不是欧姆接触;将导电材料填满多个盲孔;进行一热处理工艺,使导电材料和半导体基底间形成欧姆接触;及利用带电射线照射填满有导电材料的多个盲孔。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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